陕西精盛誉钛工贸有限公司官网欢迎您!

钛锻件

全国咨询热线:

199-2920-6505

钛靶材
您当前的位置 : 首 页 > 新闻中心 > 行业资讯

联系我们Contact Us

陕西精盛誉钛工贸有限公司

张经理:19929206505

陈经理:15291726017

邮   箱:511095812@qq.com

地   址:陕西省宝鸡市高新开发区清庵堡村工业园

高纯度铬靶材切削加工方法

2021-07-08 09:43:30

溅射是物理气相沉积(PVD)薄膜制备的一种。其主要原理是用带电粒子轰击靶材,加速的粒子轰击固体表面时,发生原子碰撞并发生能量和动量的转移,使靶材原子从表面逸出并淀积在衬底材料上。利用溅射获得的金属、合金或者电介质薄膜,通常应用于制造薄膜集成电路、片式引线器片和半导体器件。

钛铬靶材

 目前,用于溅射的高纯度钛铬靶材的制造的方法为:提供高纯度铬靶材坯料和背板;将高纯度铬靶材坯料和背板进行焊接形成靶材;检测焊接强度,对于焊接强度符合焊接要求的高纯度铬靶材进行切削加工,以去除多余的靶材坯料,使得加工后的高纯度铬靶材的形状和尺寸满足溅射需要


在上述高纯度铬靶材制造的方法中,首先要有高纯度铬靶材坯料。粉末冶金法是形成高纯度铬靶材坯料的一种方法。所述粉末冶金粉末冶金包括:选粉,选取与期望制备的薄膜相应的高纯粉体;预烧,将原始粉置于石英舟中,将石英板盖好,送入炉中;研磨;将预烧粉倒入模具内,摇匀;在模具内滴入丙酮,使之分布均匀;压力机压制;烧制固化,完成溅射靶材的制造。


目前纯度的铬靶材坯料主要是通过上述粉末冶金法形成的。由于受到模具形状、尺寸的限制,上述方法制作的高纯度铬靶材坯料的形状、尺寸不符合溅射需要。在高纯度铬靶材坯料与背板焊接成为高纯度铬靶材后,需要对高纯度铬靶材进行进一步的切削加工,使得切削加工后的铬靶材的形状、尺寸满足溅射工艺的需要。

因此,需要找到一种高纯度铬靶材切削加工方法,使得高纯度铬靶材的形状、尺寸满足溅射的需要。

近期浏览:

钛锻件

微信 扫一扫

联系方式

张经理:19929206505

陈经理:15291726017

邮   箱:511095812@qq.com

地   址:陕西省宝鸡市高新开发区清庵堡村工业园


主要从事于钛锻件,钛标准件,钛靶材,钛棒 , 欢迎来电咨询!
技术支持:祥云平台