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钛铝合金溅射镀膜靶材工艺介绍

2021-06-25 08:49:26

随着人们环保意识的增强,材料的表面镀膜技术由传统的电镀及化学镀技术逐渐过渡到真空溅射镀膜技术。真空磁控溅射镀膜技术已经在五金装饰镀层、表面保护镀层、电子产品镀层、电磁屏蔽镀膜以及汽车和建筑玻璃镀膜领域得到了广泛的应用。因此,钛靶材厂家认为这个领域对相关镀膜靶材的需求也显得极为迫切。

钛铝靶材

钛铝合金是一种真空镀膜用合金溅射靶材,在该合金中通过调配钛与铝的含量可以获得不同特性的钛铝合金靶材。钛铝金属间化合物属于硬脆材料,具有很好的耐磨性,在普通刀具表面覆着一层钛铝金属间化合物,可以有效延长刀具的使用时间。如配合氮气放电起弧实施溅射,可以获得高硬度低摩擦系数表面膜,特别适合各种刀具、模具和其它易损件的表面涂层,因此在机械加工行业具有较好的应用前景。


溅射靶材是指通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜设备在适当工艺条件下溅射沉积在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。钛靶材广泛应用于装饰、工模具、玻璃、电子器件、半导体、磁记录、平面显示、太阳能电池等众多领域,不同领域需要的靶材各不相同。按照生产方法溅射靶材可分为粉末靶、熔炼靶和喷涂靶;按照形状可分为平面靶材和管状靶材,平面靶材又可分为矩形靶和圆弧靶;根据成分可分为纯金属靶材、合金靶材、氧化物靶材、硅化物靶材等多个品种。

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