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钛铝合金靶材的制备方法

2021-06-18 09:29:06

随着电子工业以及靶材溅射工艺的发展,越来越多的材料需要进行镀层处理以得到更优的效果,而钛铝合金由于其高强度、耐磨性的特性,使得其成为很多材料所需的钛靶材,但是现有的钛铝合金靶材制备过程中存在靶材致密度较低、制备工艺复杂陈本高的问题。

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钛靶材厂家于介绍一种钛铝合金靶材的制备方法,解决了现有的钛铝合金靶 材制备存在的效果不好、工艺复杂的问题。 此生产方法所采用的技术方案是:一种钛铝合金靶材的制备方法,

包括以下步骤: 

1,将钛粉和铝粉均匀混合;2,利用等静压机压制成坯块; 3,将坯块在真空环境下加压烧结得到预制坯锭; 4,将所述坯锭进行退火处理,即得所述钛铝合金靶材。

特点还在于, 4中对所述坯锭进行退火处理后,还进行超声清洗。 步骤1中钛粉和铝粉的质量比为3-4:1。 钛粉为0级海绵钛,且所述钛粉和铝粉的粒径均为50-100um。 3中利用真空热压烧结炉对所述坯块进行加压烧结,加压压强为50-80MPa,烧 结温度为1500℃-1650℃。 4中退火温度为400℃-600℃,保温时间为2h-4h。

 此方法有益效果是:一种钛铝合金靶材的制备方法解决了现有的钛铝合金靶材制备存在的效果不好、工艺复杂的问题。一种钛铝合金靶材首先选取粒 径小、纯度较高的钛粉和铝粉混合后进行等静压处理,已得到致密度高的坯块,然后对其进行真空加压烧结、超声清洗后,制备得到钛铝合金靶材,其制备工艺简单,制备得到的钛铝合金靶材致密度高、溅射效果好。

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