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是什么镀膜靶材?

2021-04-07 03:07:01

真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一。但是对于镀膜靶材的相关内容,还有不少朋友存在疑问,下面我们就请宝鸡钛靶材厂家为我们做出简单介绍。

      镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统,在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。集成电路、平板显示是用靶材主要应用领域,其溅射产品主要包括电极互连线膜、电容器电极膜、接触薄膜、光盘掩膜、阻挡层薄膜、电阻薄膜等。

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       我国是世界上薄膜溅射靶材的需求地区,国内靶材材料发展速度较快。目前,国内能够生产半导体用溅射靶材的企业主要有宁波江丰电子材料有限公司(以下简称“江丰电子”)和有研亿金新材料有限公司,江丰电子部分产品性能指标接近国际同行水平,产品批量进入全球集成电路制造主流企业。

      国内能够生产大尺寸平板显示和光伏用金属靶的企业主要有苏晶电子、金钼股份和厦门钨业等,苏州苏晶电子有限公司的高世代大尺寸平板显示面板用钼靶、铝靶和钛靶材已批量供应京东方和我国台湾企业。   

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