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钛靶材绑定及衬管质量对大面积镀膜的影响

2021-02-01 05:05:03

      钛靶材厂家介绍了钛靶材结合和衬层质量对大面积涂层的影响。在涂层过程中,一些韧性差的金属、合金和氧化物在使用过程中会断裂。在制备过程中,将靶材绑在铜背板上,旋转靶材绑在不锈钢衬垫上。常用的结合材料是金,它属于铟或其他金属物质。

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       除了保护运输过程中目标的意外断裂外,还可以改善目标机械强度不足的一些问题。这些问题都是通过将靶材拼接到背板上解决的,解决了大尺寸靶材制备和使用的有限性问题。保证靶材良好的冷却和电接触,防止靶材在溅射过程中不均匀溅射和开裂。

       热传导和导电不均匀会导致靶材溅射不均匀(成膜不均匀),表面结瘤和放电现象也会导致成膜不均匀。薄膜的颜色不同,三种银产品对介电层变化的影响更为明显,增加了涂层的废品率。因此,靶标的装订质量对其使用有很大的影响。对于某些金属或合金旋转靶材,如ZnAl、znsn、sial靶材,由于靶材与不锈钢管热膨胀系数材料在热膨胀和冷收缩作用下的差异,其规则系数为几何尺寸随温度的变化而变化),也有必要使用一些连接材料进行连接。如果结合不好,还会出现靶材受热不均匀、导热受阻、开裂脱落等现象,影响涂层产品的质量和生产。

       一般来说,由于靶材在溅射过程中会产生大量的热量,但陶瓷靶材的散热性能相对较差。如果大面积结合不好,在溅射过程中容易聚集局部热量,低熔点结合材料中的铟熔化,导致靶材开裂甚至脱落。

       靶材包扎和衬里质量是靶材涂装的关键,这不仅需要团队的自觉性,更需要专业性。这样,一个好的薄膜可以镀。

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