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钛靶材的制造方法

2021-02-01 05:05:03

钛靶材的制造方法,包括选取钛原料,将钛原料熔融,并将熔汤浇铸,浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料;之后立即进行热处理,然后将保温热处理后的铸锭坯料形成钛坯;进行第二热处理,然后将保温热处理后的钛坯形成第二钛坯:对第二钛坯冷却到室温后,在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延,形成冷轧坯;将冷轧坯做退火热处理,得到晶粒细小且均匀的钛靶坯,之后通过机床加工即得钛靶材。本发明通过多次热处理,使得钛坯中的元素产生固态扩散,来减轻化学成分分布的不均匀性,减少靶材坯料的分层现象,缩小晶粒尺寸;同时可消除残余应力,稳定尺寸,减低硬度和脆性,增加其可塑性,减少变形与裂纹倾向。

钛靶材厂家

      一种钛靶材的制造方法,钛靶材厂家包括以下步骤:

步骤1:选取钛原料,采用大气熔炼或真空熔炼的方法将钛原料熔融,并将熔汤浇铸,浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料;

步骤2:将步骤1浇铸所形成的铸锭坯料立即进行热处理,热处理的温度为450~650℃,保温时间0 .5~2 .5h,然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打形成。

步骤3:对步骤2中形成的钛坯进行第二热处理,第二热处理的温度为350-550℃,保温时间为1~3h,然后将保温热处理后的钛坯进行热轧延或者空气锤锻打,形成第二钛坯;

步骤4:对步骤3得到的第二钛坯冷却到室温后,在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延,形成冷轧坯;

步骤5:将步骤4冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理,退火热处理温度为300~700℃,时间为1~5h,得到晶粒细小且均匀的钛靶坯,之后通过机床加工即得钛靶材。


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